三轴丝杆机能否用于半导体行业？

南京帝鼎数控科技有限公司2025-08-06

需特殊改造：材料：选用不锈钢丝杠（如SUS440C）和低挥发润滑脂（NSF H1认证）；密封：真空级防护罩（漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s）；驱动：搭配无磁伺服电机（避免干扰晶圆）。案例：日本THK的Clean系列丝杆机已用于ASML晶圆传输模组。

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简介：南京帝鼎数控科技有限公司成立于2009年，专注数控设备制造，主要产品包括木工加工中心和自动化生产线。

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