阿斯麦 ASML 全新 EUV 光刻机将于 2021 年中期发货

　　10月15日消息 据《科创板日报》，光刻机制造商阿斯麦 ASML 公布了 EUV 路线图上的新机型 TWINSCANNXE:3600D 的最终规格，这是 30mJ/cm2 的曝光速度达到每小时曝光 160 片晶圆，提高了 18% 的生产率，并改进机器匹配套准精度至 1.1 纳米，计划于 2021 年的中期开始发货。

　　ASML 昨日公布了三季度财报：第三季度销售额为 40 亿欧元，净利润 11 亿欧元，毛利率 47.5%，净利率 27.5%，第三季度新增订单 29 亿欧元。

　　据外媒报道，ASML 向客户交付并可确认收入的光刻机达 60 台。其中，14 台为极紫外光刻机，较上一季度增加 7 台，但整体的交付量较上一季度减少了 1 台。