使用点（POU）分配过滤器​：POU 分配过滤器则安装在光刻设备的使用点附近，对即将用于光刻的光刻胶进行然后一道精细过滤。其过滤精...

油雾过滤器的操作指南如下：1.专业维护：油雾过滤网在使用满三个月后，应由专业人员负责清洗。2.排油与节能：设备运行30至40日后，...

验证方法与性能评估：选择了合适的过滤器后，必须建立科学的验证方法确保其在实际应用中的性能。以下是关键的验证要点。颗粒计数测试是较直...

发展：自清洗过滤技术是一种20世纪70年代末期发展起来的新型过滤技术，其较主要的优点是可利用水压自我的操作、自我清洗，且清洗时不停...

化学兼容性测试应包括：浸泡测试：过滤器材料在光刻胶中浸泡72小时后检查尺寸变化(应