微米级真空机与真空泵

真空机盲孔结构的精密制造困境

盲孔作为机械结构中常见的特征，其深径比通常超过5:1，在微型化趋势下甚至可达20:1。这种封闭腔体设计在航空航天涡轮叶片、半导体封装基板、精密液压阀体等领域广泛应用，但传统加工手段存在三大痛点：

一是电火花加工后残留的碳化物难以，

二是超声清洗在深孔底部形成清洗盲区，

三是化学蚀刻后残留的酸液会引发电化学腐蚀。某航天发动机制造商检测数据显示，未经深度处理的盲孔在500小时盐雾测试后，孔底锈蚀率高达43%，直接影响产品寿命。 真空环境下除油剂循环流量可降低 60%，减少化学药剂消耗。微米级真空机与真空泵

真空除油设备工作原理详解

真空除油技术在于通过压力-温度耦合调控实现高效清洁，其工作流程可分解为四个精密控制阶段：

1.真空环境构建

设备采用多级罗茨泵组+旋片泵复合真空系统，30秒内将腔体压力降至0.1kPa（相当于海拔30公里高空的气压）。

2.低温沸腾溶解在-90kPa真空度下，特制环保溶剂（如碳氢系D40）的沸点从140℃骤降至45℃。这种"亚临界沸腾"状态产生的微气泡直径为超声波清洗的1/50，能深入0.01mm的微小缝隙。

3.动态循环强化双泵体驱动的紊流循环系统使溶剂以8m/s流速冲刷工件表面，配合360°旋转夹具，实现复杂曲面的均匀清洗。系统集成在线浓度监测仪，当溶剂污染度超过阈值时，自动触发真空蒸馏再生系统，回收率达98.7%。

4.分子级干燥真空环境下采用红外辐射+热气流吹扫组合干燥技术，利用水蒸气分压梯度差加速水分蒸发。 选择性电镀真空机价格创新真空蒸馏回收系统，使清洗剂循环利用率达 95%，大幅降低企业环保处理成本。

志成达研发的真空机中，真空除油设备的创新设计：

动态旋转清洗腔，结合60-80kHz高频超声波震荡，可对带有盲孔、深槽的航空航天部件进行立体除油，其真空干燥系统通过冷凝回收技术将溶剂回收率提升至98%以上，降低企业环保处理成本。模块化真空除油设备支持定制化配置，可选配真空蒸馏再生装置，实现溶剂循环利用率达95%，或集成在线检测系统，实时监控油分浓度（精度±0.05%），在电子元件、医疗器械等高精密制造领域，展现出的油污去除能力与工艺稳定性。

真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】

本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统，适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。

【功能】

1.真空置换系统：采用旋片式真空泵组，可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下，通过动态真空置换技术实现盲孔内空气的高效抽离

2.智能补液系统：配备流量闭环控制系统，可根据工件孔径自动调节药液填充速率，确保微孔填充率≥99.8%

3.工艺可视化：配置5.7英寸工业级触控屏，实时显示真空度、液位高度、处理时间等关键参数

【技术优势】

1.采用304不锈钢内胆+高硼硅玻璃视窗组合，耐酸碱腐蚀且便于观察

2.可调式硅橡胶密封条配合气压补偿装置，确保真空度稳定维持在±0.5mbar

3.模块化设计支持单工位/双工位/多工位扩展，处理效率提升40%以上

【应用价值】

通过建立可控的负压环境，有效解决盲孔类工件因气穴导致的漏镀、膜厚不均等问题，使镀层均匀性提升至±5μm以内，降低不良品率。设备符合ISO9001质量管理体系及CE安全认证，已成功应用于100+客户的量产线，平均提升良品率25%，降低生产成本18%。 未来真空除油技术将向智能化、集成化方向发展，结合 AI 视觉检测实现全流程闭环质量管控。

使用真空机的注意事项

1.先抽真空，如发现真空度有所下降时再适当加抽一下。这样做对于延长设备的使用寿命是有利的。

工件放入真空箱里抽真空是为了抽去工件材质中可以抽去的气体成分，把我们要处理的化学药水压入到盲孔内，实现除油或电镀。如果需要加热，可在设备外放入加热的液体，再加工件，气体遇热就会膨胀。由于真空箱的密封性非常好，膨胀气体所产生的巨大压力有可能使观察窗钢化玻璃爆裂。这是一个潜在的危险。

2.有操作设定条件之特殊安全性防爆烤箱外，绝不可将爆裂物，加压容器或可燃物置于烤箱内，否则可能会导致裂开而造成严重的工业灾害。

3.燃物包括：易燃物、氧化物、发火物及易燃气体。

4.排风管应保持通畅无阻，真空滤网请定期清洁。

5.必须接好地线，依照电工法规实施。

6.维修时严禁带电操作，必须切断总电源，方可检修。

7.真空箱经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出距离来解决。

8.真空箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭，应用松软棉布擦拭。

9.若真空箱长期不用，请套上塑料薄膜防尘罩，放置于干燥的室内，以免电器元件受潮损坏，影响使用。 航空钛合金深孔，盐雾测试超 200 小时！除油用真空机升级改造

真空除油设备采用无接触式清洁技术，避免盲孔内壁刮擦损伤，特别适用于半导体晶圆等脆性精密部件。微米级真空机与真空泵

志成达设计的真空机，真空除油设备中负压技术

是通过降低处理环境的气压（形成真空状态）来增强除油效果的技术。其原理是：负压技术的原理

1.降低液体沸点在真空环境下，液体（如脱脂剂、有机溶剂）的沸点降低（例如水在-0.1MPa时沸点约为30℃）。利用这一特性，可在较低温度下使液体沸腾，产生微小气泡，通过气泡破裂的冲击力剥离盲孔内的油污。

2.增强渗透与排液负压状态下，液体更容易渗透到盲孔深处，同时孔内残留的空气被抽出，避免气泡滞留。处理后恢复常压时，液体因压力差迅速排出盲孔，减少残留。 微米级真空机与真空泵