激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器,广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测,具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等,通过与不同光学组件结合,可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月,激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]:标准量程:0-40米测量精度:±0.5 ppm分辨率:1纳米比较大速率:240米/分钟角度测量精度:0.2%高精度:双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度,适用于微小位移的检测。工业园区新款双频激光干涉仪选择
三角运算给出其中叠加后的振幅为可以看到, 叠加后的振幅与两列波的初始相位差有关。 由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数, 这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹。 这种条纹有时候叫做干涉条纹, 由于相位差变化引起的幅度变化有时也称为条纹移动。分类干涉仪的分类有不同分法按照结构区分干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类, 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪, 而Sagnac干涉仪, 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪(钟锡华, 陈熙谋, 2002) [3]。高新区定制双频激光干涉仪单价当两束不同频率的激光光束经过分束器分开后,经过被测物体的反射或透射后再合并,形成干涉条纹。
激光干涉测量仪通过双频激光技术实现高精度线性位移测量,适用于车间生产环境下的数控机床校准、三坐标机校准及光学平台校准。其测量镜组可扩展功能,支持直线度、垂直度等几何量检测 [2]。该仪器的系统包括 [2]:1.双频激光头及附件2.环境补偿单元3.测量软件、分析软件4.各类测量镜组激光干涉测量仪的优势包括紧凑设计、自动环境补偿及符合测校国家标准的测量分析软件。截至2023年8月,典型型号LH3000的测量速度可达2米/秒,频差为7±0.5MHz [2]。
截止***,激光干涉仪引力波探测器已经发展了40余年。 目前LIGO激光干涉仪实验宣称***直接测量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以认为是两路光线的干涉仪, 而另外一类引力波探测实验, 脉冲星测时阵列则可认为是多路光线干涉仪(Hellings 和Downs, 1983) [8]。其他用作高分辨率光谱仪。法布里-珀**涉仪等多光束干涉仪具有很尖锐的干涉极大,因而有极高的光谱分辨率,常用作光谱的精细结构和超精细结构分析。历史上的作用。19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播,这种假想的弹性介质称为以太。法布里-干涉仪:由查尔斯·法布里和阿尔弗雷德·佩罗发明,主要用于高精度的光谱分析。
双频激光干涉仪是一种利用两种不同频率的激光光源进行干涉测量的仪器。它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。双频激光干涉仪的工作原理基于光的干涉现象,即当两束相干光相遇时,会产生干涉条纹,条纹的变化可以用来精确测量物体的位移或其他物理量。主要特点和应用:高精度:双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度,适用于微小位移的检测。抗干扰能力强:由于使用了两种不同频率的激光,干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。工业园区新款双频激光干涉仪选择
双频激光干涉仪是一种利用两种不同频率的激光光源进行干涉测量的仪器。工业园区新款双频激光干涉仪选择
按干涉光来源区分:分为波前分解干涉仪和幅度分解干涉仪。波前分解干涉仪利用波前上不同位置的子波源形成干涉,如杨氏双缝干涉;而幅度分解干涉仪则通过界面部分反射等方式将一束入射光分为两束或多束形成干涉,如斐索干涉仪、迈克尔逊干涉仪和法布里-珀**涉仪等。四、应用干涉仪在多个领域都有广泛应用,包括但不限于:光学测量:用于测量光波的波长、频率和相位差。材料科学:用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物医学:用于显微镜成像、生物传感和医学诊断。天文学:用于测量星体的直径等。工业园区新款双频激光干涉仪选择
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