激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。它通过将激光束分成两部分,分别经过不同的路径后再合并,形成干涉图样,从而可以精确测量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉仪的基本原理可以概括为以下几个步骤:激光发射:激光器发出单色光束。光束分割:通过分束器将激光束分成两部分,通常称为参考光束和测量光束。光程传播:参考光束和测量光束分别经过不同的路径,可能会经过被测物体或介质。光束合并:两束光在分束器后重新合并,形成干涉图样。随着激光技术和数据处理技术的发展,双频激光干涉仪的应用范围和测量精度将不断提高。吴江区通用双频激光干涉仪产品介绍
这种无规则的变化较难通过触发电平的自动调整来补偿,因而限制了单频干涉仪的应用范围,只有设法用交流测量系统代替直流测量系统才能从根本上克服单频激光干涉仪的这一弱点。而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点,它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器,所不同者,一方面是当可动棱镜不动时,前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平,而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号;吴中区销售双频激光干涉仪产品介绍现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s,有的甚至达到十几m/s,适于高速动态测量。
机床与加工设备:应用于数控机床、磨床、镗床、加工中心等设备的定位系统校准及误差修正,以提升加工精度。集成电路制造:支持半导体光刻技术的工件台的精密定位。物理实验:测量位移、速度、加速度等动力学参数。在线监测控制:在大规模集成电路加工设备、精密机床中实现误差的在线测量,以提升生产稳定性。检测仪器校准:用于线性位移传感器、角度传感器、直线度检测仪等几何检测仪器的标定。双频激光干涉仪凭借其高精度、强环境适应力、高实时动态测速以及广泛的应用领域,在精密制造、科研创新以及标准化检测等方面发挥着关键作用。
基于菲索干涉仪的等厚干涉原理设计,通过对比被测平面与标准参照镜的干涉条纹变化,实现光学元件表面形状误差和材料均匀性的非接触式测量 [1] [3-4]。标准参照镜面形精度通常达到p-v:λ/20 [3-4]。测量口径:Φ60mm(典型型号) [3-4]对准方式:两点对准系统 [3-4]结构特性:小型化设计、防尘性能优异 [3-4]精度范围:根据型号不同覆盖1/10-1/100波长梯度 [11.光学制造:检测平面镜、棱镜等光学元件表面面型2.质量检测:评估光学材料均匀性与透镜波前像差 [1]3.科研实验:实验室环境下进行精密光学计量分析测量精度不受空气湍流的影响,无需预热时间。
另一方面,当可动棱镜移动时,前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号,而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f,结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。精度高双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级,细分后更可达到nm量级。应用范围广双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等广泛应用:广泛应用于材料科学、机械工程、光学测量、精密制造等领域。虎丘区销售双频激光干涉仪哪家强
双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。吴江区通用双频激光干涉仪产品介绍
干涉仪是很***的一类实验技术的总称, 其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息, 从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅*局限于光干涉仪。 干涉仪在天文学 (Thompson et al, 2001) [1], 光学, 工程测量, 海洋学, 地震学, 波谱分析, 量子物理实验, 遥感, 雷达等等精密测量领域都有广泛应用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化, 从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息。两列具有同频率波之振动在一点处可以用如下公式描述那么这两列波叠加以后的波的振动为吴江区通用双频激光干涉仪产品介绍
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