POCl₃扩散中，硅片的晶向会影响扩散效果吗？

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-07-16

会。硅片的晶向（如 <100>、<111>）决定了原子排列的紧密程度和扩散通道的数量，从而影响磷原子的扩散速度和路径。例如，在 < 111 > 晶向的硅片中，原子排列更紧密，扩散通道少，磷原子扩散速度较慢；而 < 100 > 晶向的硅片原子间隙较大，扩散速度更快。因此，在制定 POCl₃扩散工艺时，需根据硅片的晶向调整温度和时间，以确保不同晶向的硅片都能达到设计的扩散效果。

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