POCl₃扩散时，硅片表面需要做哪些预处理？

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-07-16

硅片在 POCl₃扩散前需经过严格预处理。首先要进行清洗，去除表面的油污、尘埃和金属杂质，通常用酸性或碱性溶液超声清洗，再用去离子水冲洗干净，避免杂质影响扩散均匀性。其次，部分工艺会进行氧化处理，在硅片表面生成一层薄二氧化硅膜，这层膜能帮助磷原子更均匀地扩散，还能减少硅片表面损伤。预处理的质量直接影响后续扩散效果，需严格控制清洗时间、温度和溶液浓度。

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